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“光刻膠+光刻機”的王炸組合，在A股市場曾有呼風喚雨的魔力，國產光刻膠公司憑一紙“購得光刻機”公告便錄得“20厘米”漲停的刺激還歷歷在目，但時間僅過去了一年，相同的配方，威力卻已不再——

近日，晶瑞電材在與投資者互動時表示，近期已購得KrF光刻機一臺，可用于KrF光刻膠的曝光測試。消息披露當日，該公司股價漲超7%，但在隨后幾日連續陰跌。市場反應的先揚后抑，與一年前大相徑庭。

事實上，在今年8月爆出“你算老幾門”之前，光刻膠概念也仍然是A股“最靚的仔”之一。到如今的局面反轉，8月這波冷水的功勞功不可沒，逐漸有更多人意識到，光刻膠國產替代，光刻機真不是那個坎。

買光刻機≠光刻膠量產在即 漫長驗證周期仍需等待

光刻機在光刻膠的研發、產品驗證以及后續的大規模量產過程中，是必不可少的檢驗檢測設備之一。據愛集微從某半導體業內資深人士處了解到，為了盡量排除產線上的不確定因素，一般光刻膠廠商會選擇代工廠主流型號。

雖然晶瑞電材并未透露此次購買的光刻機型號，但據上述業內人士了解，該設備是從格芯的新加坡工廠購得，“算是熱機，拉回去通電就能用。”目前國內包括北京科華、南大光電、上海新陽等廠商，購買的均為ASML二手設備。

至于為何是二手設備，原因與多數人想象的“卡脖子”無關，而在于價格，根據公司公告，南大光電2020年4月購得的ASML 193nm二手浸沒式光刻機造價高達1.4億元人民幣，上海新陽今年3月購得的ASML-1400二手光刻機也超過上億元人民幣。

型號要與代工廠產線適配、價格要選擇性價比相對更高的二手設備，這些所謂的“難點”讓一種不夠理性的觀點，一度占據上風：即光刻膠廠商成功購得光刻機，就意味著其跨過了產品量產的最大門檻，正式向代工廠供貨便指日可待。

然而事實卻遠非如此。從本質上來看，即使光刻機對光刻膠生產流程來說必不可少，但畢竟僅用于光刻性能的檢測，購買光刻機這一舉動本身，僅能證明公司確實在做相關產品的研發等一系列工作，但“做不做的出來不知道”。

“購得光刻機”和“光刻膠量產供貨”之間的鴻溝，從光刻膠廠商的動態中也可窺知一二：

例如晶瑞電材“一臺光刻機一個漲停板”的神話——自年初購得ASML XT 1900 Gi型光刻機設備用于研發28nm ArF濕法光刻膠至今，該項目披露的進展仍然是“啟動”；

例如首個實現國產ArF光刻膠突破的南大光電，則早在2020年4月即購得ASML 193nm二手浸沒式光刻機用于研發193nm ArF濕法光刻膠，但至今尚未量產。公司最新表示，目前仍在進行客戶認證，至于具體量產時日還需根據客戶訂單決定。

需要明確的是，這并不是說國產光刻膠國產替代遭遇困境，因為作為半導體制造最關鍵材料之一，光刻膠從驗證到量產周期相當漫長，驗證過程一般1-3年才能批量供貨，并且取得驗證后，還需要進行參數和工藝反復修改才可獲取客戶批量訂單。

筆者想要闡明的是，無論是資本市場亦或是行業內外人士，對于光刻膠國產化，或許仍需要更多的耐心和更漫長的等待。“一臺光刻機一個漲停”的時代結束，或許正是理智回歸后，更多人以理性視角看待光刻膠國產化的印證。

然而，新的問題又來了——如果不是設備，國產光刻膠的坎究竟是什么？

光刻膠兩大坎——原材料、資金投入

最大的坎在于原材料，這也是光刻膠真正具有“卡脖子”風險的環節。在微米級甚至納米級圖形加工中，對光刻膠產品的基本要求為具備高分辨率、高感光度、精確對準、低缺陷密度，這些要求背后，是對光刻膠配方和原材料近乎苛刻的選擇。

集微咨詢（JW insights）認為，發力半導體光刻膠，需要考慮整個材料供應鏈的一個安全問題，或是考慮規避風險，不然核心原材料都在國外，做光刻膠實際就是一個“空中樓閣”，萬一關鍵的原材料卡掉斷供的話，光刻膠是否是國產實際也沒有什么太大區別。

據華創證券整理，光刻膠主要是由光刻膠樹脂（聚合物）、增感劑（包括光引發劑、光增感劑和光致產酸劑）、溶劑、單體（活性稀釋劑）和其他助劑組成，用量占比分別為10-40%、 1-6%、50-90%，單體和其他助劑用量小于1%。

其中，樹脂是光刻膠的基本骨架，南大光電副總經理毛智彪博士曾表示，原材料中最難做的材料就是成膜樹脂，決定了光刻膠產品的光刻性能和刻蝕性能。而樹脂是高分子材料，需要對納米級材料的控制，對微觀領域有深刻的理解才能做到光刻膠的材料。

增感劑則作用于化學反應過程中，對產品的感光度，分辨率等起決定作用，樹脂與增感劑合計占超過光刻膠50%的成本，但前者由日本壟斷，后者由德國壟斷，國內目前礙于核心技術匱乏，國產化率僅為0-10%，瓶頸明顯。

在光刻膠進入國產替代周期的背景下，包括上述公司在內的產業鏈公司，實際上也已同步開始了原材料的布局。集微咨詢調研發現，國產光刻膠正逐步形成了一個原材料配套產業鏈，圍繞樹脂、單體、光引發劑等原材料，核心玩家有了很清晰的材料配套目標。

不過，這些布局距離見效或許還將有些時日。除了核心技術壁壘之外，最大的難點在于，由于應用環境多樣，光刻膠產品往往難以標準化，甚至需要針對代工廠特別定制，這不僅給光刻膠廠商帶來挑戰，也需要有更多的原材料品種能夠適配。

第二個坎在于資金。正如前文所述，光刻膠廠商即使是向代工廠購置的二手主流設備，造價也普遍接近或超過上億元。原材料成本也不遑多讓，例如丙二醇甲醚醋酸酯，頭部廠商巴斯夫在國內具有高定價權，其在2020年均價達到近1萬元/噸。

高成本投入后，國內廠商面對的依然是一個不算太大、且幾乎已被巨頭瓜分完畢的市場。數據顯示，目前占據光刻膠最大份額的ArF和KrF市場，前者由日本JSR、信越化學、東京應化、住友化學占據82%，后者由東京應化、信越化學、JSR和杜邦占據85%。

再加上反復提到的驗證周期漫長，這些特質都使得光刻膠成為投入回報率低且短期經濟效應不顯著的產業，這對于被推至風口的光刻膠廠商來說，更是在諸如技術、資金等客觀因素之外，對其重壓下決策能力的重大考驗。

寫在最后

可以肯定的是，國產光刻膠目前所面對的瓶頸，絕非是“一臺光刻機”能夠解決的。正如毛智彪博士所說，國產光刻膠需要建立起從原材料到光刻膠產品的產業鏈，并且持續投入對原材料的研發，才能支撐起長久健康的發展。

就目前來看，國產替代的進程已不可謂不迅速，隨著晶圓廠對國產光刻膠態度的積極轉變，國內諸如北京科華、晶瑞電材、南大光電光刻膠產品都已經或供貨在即，強力新材、圣泉集團、彤程新材、徐州博康等原材料廠商正逐漸崛起。

但，仍需耐心和時間。韓國的失敗案例正在眼前反復提醒，即使是擁有三星、SK海力士等巨無霸IDM的韓國，仍在光刻膠自主化上難以短時見效，中國廠商所面臨的壓力可想而知。“買光刻機即漲停”的終結，某種意義上來說，或許正是光刻膠理性時代的開始。（Yuki）

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