【嘉勤點評】眾凌科技發(fā)明的精密金屬遮罩及其蝕刻激光復(fù)合制作方案，通過結(jié)合兩種制作工藝，從而可以獲取到兩種精密金屬遮罩特性，以保障精密金屬遮罩在OLED蒸鍍制程中不易導(dǎo)致堵孔，還能確保加工孔徑精度。

精密金屬遮罩主要用于OLED蒸鍍制程中，RGB三種顏色的蒸鍍材料藉由透過精密金屬遮罩上的孔洞，準(zhǔn)確的將位置形狀大小定義在玻璃基板上。

目前，精密金屬遮罩的制作法大致有三種，分別為電鑄制作法、激光制作法、蝕刻制作法。其中電鑄制作法受限于低熱膨脹系數(shù)材料而目前仍處于研發(fā)階段；激光制作法則是直接利用激光高能量的原理，直接在金屬基材上面轟擊刻畫出所有的孔洞，但其存在蒸鍍角接近90度的問題。

因此目前主流的精密金屬遮罩制作法為蝕刻制作法，通過曝光顯影制程，在金屬基材的上下兩面均制作出鏤空區(qū)，接著在上下兩面對應(yīng)鏤空區(qū)上利用蝕刻制程首先蝕刻出凹陷區(qū)，再由上下兩側(cè)面凹陷區(qū)進(jìn)行第二次蝕刻制作出孔洞開口。

但是，該方法通過蝕刻制作法所形成的孔洞大小，其精度難以達(dá)到激光制作法的精度，主要是因為通過蝕刻制作法所形成的主表面與孔洞開口的側(cè)邊壁面會有斜坡而形成個尖點，而尖點的穩(wěn)定性不佳，容易因蝕刻時間的長短誤差導(dǎo)致孔洞大小的精度變差。

為控制該問題，眾凌科技在2021年6月17日申請了一項名為“一種精密金屬遮罩及其蝕刻激光復(fù)合制作方法”的發(fā)明專利（申請?zhí)枺?02110672322.0），申請人為浙江眾凌科技有限公司。

根據(jù)該專利目前公開的相關(guān)資料，讓我們一起來看看這項精密金屬遮罩的制作方法吧。

該方案中所使用的精密金屬遮罩的蝕刻激光復(fù)合制作方法包括以下步驟：首先，在金屬基材的第一主表面和第二主表面上分別完整涂覆固態(tài)光刻膠層。

其次，如上圖所示，在第一主表面1a上進(jìn)行單面的曝光顯影制程，制作出鏤空區(qū)1c形成預(yù)留的蝕刻區(qū)域，接著，在鏤空區(qū)上進(jìn)行單面蝕刻制程以蝕刻出凹陷區(qū)1d，即形成蝕刻孔3，如下圖所示。

在該步驟中，蝕刻制程將金屬基材蝕刻成凹弧坑體，且蝕刻部分延伸至固態(tài)光刻膠層的周邊下方。

最后，在凹陷區(qū)內(nèi)進(jìn)行激光制程以轟擊刻制出貫穿孔洞，即形成激光孔4，該步驟以凹陷區(qū)的中心作為中點，按照激光孔的半徑進(jìn)行激光制程開孔。因此，總結(jié)下來，在上述精密金屬遮罩的蝕刻激光復(fù)合制作方法中，通過先蝕刻后激光的復(fù)合工藝所制作出的結(jié)構(gòu)，因金屬基材上激光孔開口側(cè)的孔壁接近垂直無斜坡，使激光孔與蝕刻孔的交界處形成弧面與直面相交，并不會產(chǎn)生單獨蝕刻制作法的弧面與弧面相交形成的尖點。

由此，弧面與直面相交的結(jié)構(gòu)相對穩(wěn)定，不易受到蝕刻時間長短誤差的影響，同時利用蝕刻孔的凹弧孔壁過渡傾斜，形成較低的蒸鍍角結(jié)構(gòu)。另外，暴露孔的通口孔徑最終由激光孔決定，因此利用激光制程的高能量轟刻擊穿特性，完成通口孔徑的高精度要求。

以上就是眾凌科技發(fā)明的精密金屬遮罩及其蝕刻激光復(fù)合制作方法，該方案通過結(jié)合兩種制作工藝，從而可以獲取到兩種精密金屬遮罩特性，以保障精密金屬遮罩在OLED蒸鍍制程中不易導(dǎo)致堵孔，還能確保加工孔徑精度。

（holly）

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