東尼電子:已有50余臺長晶爐完成安裝調試
近日,東尼電子在接受機構調研時表示,碳化硅長晶爐由公司設計,合作設備廠商定制。目前,公司已有50余臺長晶爐已完成安裝調試,另有約100臺長晶爐正在陸續安裝調試。上述長晶爐及配套切磨拋設備全部安裝完成,將形成約6萬片/年的產能。
有關化硅項目,東尼電子表示,公司年產12萬片碳化硅半導體材料項目實施地點為湖州市吳興區織里鎮利濟東路588號,建設期36個月,總投資4.69億元,購買約250臺長晶爐及配套切磨拋設備。項目完全達產當年可實現年營業收入77,760萬元,凈利潤9,589.63萬元。
據悉,公司碳化硅項目從2017開始儲備研發,技術主要來源于美國、日本,研發團隊來自臺灣,最初主要由兩位臺灣的博士牽頭,曾任職于臺灣中央研究院物理研究所,長期致力于材料科學與晶體技術研究,擅長晶體材料生長與精密切磨拋加工,具有二十余年的產品研發和量產導入經驗。曾赴日本學習碳化硅襯底制造技術,在晶體材料領域具有深厚功底。目前已組建約40人的研發團隊,團隊人員具備豐富的晶體生長實踐經驗。
目前,東尼電子碳化硅半導體材料項目尚處于研發打樣階段,目前公司已拿到部分下游優質外延片生產廠商的來料、成品等檢測結果,反饋良好,公司將進行持續送樣,驗證產品的一致性和穩定性,并及時溝通產品驗證情況,推進后續的量產。
據東尼電子透露,目前公司用于研發的長晶爐所生長的晶體一致性較好,公司將根據實驗機臺調試積累的經驗,持續工藝改進,提高產品的可復制性,并按照各機臺的實際情況進行安裝調試,周期1-2個月左右。
此外,公司碳化硅生長所需的籽晶以自制為主,自制數量不夠時會少量外購。(Arden)
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