豐田合成成功研制6英寸氮化鎵襯底
據(jù)外媒報道，在日本環(huán)境省牽頭的一個科研項目中，豐田合成與大阪大學(xué)合作制備出 6 英寸高質(zhì)量 GaN （氮化鎵）襯底。
據(jù)稱，豐田合成依托其過往研究經(jīng)驗，開發(fā)出一種鈉與鎵在液態(tài)狀態(tài)下生長氮化鎵單晶的方法。
上述機構(gòu)接下來將對 6 英寸襯底的批量生產(chǎn)進行評估，并將嘗試進一步增加晶圓尺寸。（樂川）
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